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传日本信越将首度在台产EUV光阻剂

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【大纪元2020年10月15日讯】(大纪元记者赖意晴台湾台北报导)由于晶圆代工龙头台积电先进制程不断往前推进,为满足其需求,日媒指出,日本信越化学(Shin-Etsu Chemical)将斥资300亿日圆(约新台币81.89亿元),把半导体厂重要材料“光阻剂”的产能提高20%,而且将首度在台湾生产,以扩大供应高阶晶片的关键材料。

《日经亚洲评论》周四(10月15日)报导,信越化学将在日本与台湾兴建新的工厂,投资生产光阻剂的新设备。这种材料用于在硅晶圆上形成电路图案。

报导指出,信越化学位于台湾云林工厂预计将于2021年2月开始量产,到时候信越得以在台湾生产可与极紫外线(EUV)光刻技术兼容的光阻液,此前这种材料只在日本生产。信越化学希望,如此便可以满足台积电等苹果供应链的需求。

台湾规划产能将增加50%;日本方面,信越新潟县的直江厂预计2022年2月开始量产,增加产能20%,同时也会增聘新员工。

报导指出,信越化学也将为韩国、中国与其他市场的客户提高产量。

其他日本光阻剂大厂,包括JSR与东京应化工业公司,也同时在日本与海外生产EUV光阻剂,而住友化学和富士软片(Fujifilm)也准备进入这一领域。

光阻液是半导体供应链关键材料,日本业者合计市占高达约80%,光是信越化学的市占就达20%至30%。根据研调机构富士经济(Fuji Keizai)预测,光阻剂市场在2019年至2024年将成长60%至2,500亿日圆。

责任编辑:吕美琪

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