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三星抢买光刻机 盼赶超台积电

据韩国媒体报导,荷兰半导体设备制造商艾司摩尔(ASML)近日拜访三星半导体工厂,双方洽谈极紫外光刻机(EUV)设备的采购。(JUNG YEON-JE/AFP via Getty Images提供)
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【大纪元2020年12月01日讯】(大纪元记者张原彰台湾台北报导)韩国三星的半导体先进制程的推进状况,仍落后于台积电,但仍积极寻求在3奈米制程追上。据韩国媒体报导,荷兰半导体设备制造商艾司摩尔(ASML)近日拜访三星半导体工厂,双方洽谈EUV设备的采购,与开发新一代机台的合作计划。报导也称,三星如果可以抢先台积电先取得下一代EUV机台,会是他们取得技术领先的关键。

台湾晶圆代工龙头台积电掌握先进制程,5奈米制程进入量产,并持续推进3奈米制程,预计2023年量产。韩国三星希望在3奈米制程追上台积电,也预计在2023进入量产阶段。

半导体先进制程之所以能推进,荷兰半导体设备制造商艾司摩尔(ASML)所打造的极紫外光曝光机(EUV)功不可没。台积电目前已有35台EUV,如今为加速推动3奈米,外传明年采购总量超过50台,几乎掌握全球一半的EUV机台。

据了解,目前三星EUV设备采购量不到20台,而三星正积极补足EUV设备。据韩国媒体《Business Korea》在1日的报导,有业内人士透露,三星电子已要求ASML提供更多EUV设备。

报导指出,ASML总裁兼执行长Peter Wennink等ASML高阶主管在上周参访三星的半导体工厂,并与三星半导体事业部主席金基南(Kim Ki-nam)会面。据了解,针对开发下1代EUV设备,两公司讨论合作事项。

报导引述三星高管的消息,两公司在会上并没有做出具体的投资决定。ASML高管之所以访问三星电子,是为了回应三星副董事长李在镕,在10月时访问ASML总部。

不过,报导也指出,ASML是全球唯一能制造EUV设备的制造商,目前他们供应台湾台积电的EUV设备量,比供应三星的还多。而三星为了加快先进制程,需要更多EUV设备,这有助于他们扩大全球晶圆代工市场的市占率。

报导并称,三星电子希望与ASML建立技术联盟,以确保三星能扩大下1代EUV设备的供应;而ASML方面,则因为开发新一代的EUV设备,因此需要大量资金投资,而这可能是双方合作的契机。

报导指出,三星也希望能投资新一代的EUV设备的开发,抢在台积电之前,先从ASML获得该设备,以取得技术领先地位。

据规划,ASML在2023年中期,推出新一代的High-NA EUV设备原型,预计每台5000亿韩圜(约新台币139亿元),价格是当前EUV设备价格的2到3倍。

据ASML财报,2019年时,ASML的EUV微影系统出货量达 26 台,较 2018 年增加8台,使得去年的营收达118亿欧元,年增率 8%;其中来自台湾的营收达 53 亿欧元,占比 45.3%,远高于韩国的 18.6%、美国的 16.7% 及中国的 11.6%。

责任编辑:吕美琪

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