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创新化学滤网应用 台积电:减废效益达16亿元

图为台积电的工厂。(Peellden/维基百科)
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【大纪元2021年08月01日讯】(大纪元记者侯骏霖台湾综合报导)随着半导体先进制程不断演变,气态分子污染物(AMC)控制技术与晶圆良率的提升,已经密不可分。台积电改良的滤网结构,截至今年6月,共减少滤网废弃物3,251公吨、碳排放量12,028公吨,相当于31座大安森林公园二氧化碳的年吸附量,成功创造逾新台币16亿元的减废总效益。

由于AMC控制技术也成为提升晶圆良率的关键,台积电观察厂区使用情况发现,化学滤网对于酸性气体、碱性气体、有机物3种物质的吸附能力不同,所以厂务处、资材供应链管理处与供应商合作,研发长效型化学滤网,透过调整滤网吸附有机物的滤料比例,将可使化学滤网寿命翻倍,并从2018年开始大量使用。

AMC为环境中沉降在晶圆表面形成单分子层薄膜的气态化学污染物质,因为半导体制程线宽随着技术进步日益缩小,并且对无尘室生产环境的洁净程度,要求变得相当严格,也造成滤网用量的提高。

为最大化滤网使用效率,台积电在2019年便全面改采拆解式化学滤网,藉由改良滤网吸附效能与结构,已有效减少逾七成的滤网废弃物。

台积电去年再次携手供应商以优化滤网结构,利用物理方式恢复其初始吸附效能,让滤网得以重复使用,今年3月已完成验证,预估在明年将会陆续导入台湾厂区的所有晶圆厂,有望未来每年再下降两成滤网废弃物,总计减废高达九成之多。

同时,台积电也对外气空调箱所使用的滤网进行结构改良,透过降低压损、提升其过滤与节能效果,预计明年导入之后,每年节电可望至3,500万度,以持续向节能减碳、循环再生的永续目标前进。

传高雄设厂 台积:不排除任何可能

台积电7奈米厂将于何处落脚,成为拥有科学园区的新竹、台中及高雄等城市的热门话题。据报导,近期高雄市政府已与台积电当面洽谈,除了对台积电设厂规格进行充分了解,也规划将以楠梓中油高雄炼油旧址,来争取台积电设厂。

对此,台积电并未正面回应,但仍会维持以往的扩厂节奏,持续和管理局共同评估在新竹、台中及高雄等适宜半导体建厂的用地,并不排除任何可能性。他们强调,若有后续进展一切以对外公告为主。

责任编辑:玉珍

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