【大纪元2021年08月01日讯】（大纪元记者侯骏霖台湾综合报导）随着半导体先进制程不断演变，气态分子污染物（AMC）控制技术与晶圆良率的提升，已经密不可分。台积电改良的滤网结构，截至今年6月，共减少滤网废弃物3,251公吨、碳排放量12,028公吨，相当于31座大安森林公园二氧化碳的年吸附量，成功创造逾新台币16亿元的减废总效益。
由于AMC控制技术也成为提升晶圆良率的关键，台积电观察厂区使用情况发现，化学滤网对于酸性气体、碱性气体、有机物3种物质的吸附能力不同，所以厂务处、资材供应链管理处与供应商合作，研发长效型化学滤网，透过调整滤网吸附有机物的滤料比例，将可使化学滤网寿命翻倍，并从2018年开始大量使用。
AMC为环境中沉降在晶圆表面形成单分子层薄膜的气态化学污染物质，因为半导体制程线宽随着技术进步日益缩小，并且对无尘室生产环境的洁净程度，要求变得相当严格，也造成滤网用量的提高。
为最大化滤网使用效率，台积电在2019年便全面改采拆解式化学滤网，藉由改良滤网吸附效能与结构，已有效减少逾七成的滤网废弃物。
台积电去年再次携手供应商以优化滤网结构，利用物理方式恢复其初始吸附效能，让滤网得以重复使用，今年3月已完成验证，预估在明年将会陆续导入台湾厂区的所有晶圆厂，有望未来每年再下降两成滤网废弃物，总计减废高达九成之多。
同时，台积电也对外气空调箱所使用的滤网进行结构改良，透过降低压损、提升其过滤与节能效果，预计明年导入之后，每年节电可望至3,500万度，以持续向节能减碳、循环再生的永续目标前进。
传高雄设厂 台积：不排除任何可能
台积电7奈米厂将于何处落脚，成为拥有科学园区的新竹、台中及高雄等城市的热门话题。据报导，近期高雄市政府已与台积电当面洽谈，除了对台积电设厂规格进行充分了解，也规划将以楠梓中油高雄炼油旧址，来争取台积电设厂。
对此，台积电并未正面回应，但仍会维持以往的扩厂节奏，持续和管理局共同评估在新竹、台中及高雄等适宜半导体建厂的用地，并不排除任何可能性。他们强调，若有后续进展一切以对外公告为主。
责任编辑：玉珍
