【大纪元2023年04月09日讯】（大纪元记者侯骏霖台湾台北报导）半导体设备大厂艾司摩尔（ASML）持续扩大对台投资，近期针对2奈米晶圆光学量测设备的研发制造，向经济部申请A+企业研发补助案。对此，台经济部表示，审查重点包含如何协助供应链技术升级及国产自制率等两面向，最快会在5月定案。
新北市长侯友宜曾透露，艾司摩尔增加在台投资，第一期投资金额高达新台币300亿元，预计落脚林口、约2千名员工进驻；针对2奈米晶圆光学量测设备，艾司摩尔去年也向经济部申请研发补助计划，一旦审查通过，预计政府会有低于五成的补助。
经济部指出，台厂供应链目前已具备深紫外光（DUV）设备中的光罩传输模组制造能力，这次艾司摩尔计划案包含晶圆传输模组，盼能借此导入本土供应链。
经济部表示，受惠艾司摩尔DUV光罩传输模组搬来台湾制造，成为全球唯一制造基地，带动台厂帆宣、公准及神咏等供应链厂商成长。因此，这次审查聚焦重点，将落在如何提升本土技术与国产自制率。
经济部“A+企业创新研发淬炼计划”补助企业投入创新研发、前瞻产业技术开发，每年预算约新台币20亿元，计划吸引国际大厂来台研发生产；由于艾司摩尔申请案将进入第二阶段审查，经济部预估在5月召开决审会议拍板，届时补助金额将明朗化。◇
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