【大纪元2024年01月08日讯】（大纪元记者张原彰台湾台北报导）艾司摩尔（ASML）首台最新型“High-NA EUV”（高数值孔径极紫外光微影系统）确定卖给英特尔，且在2025年被用来生产晶片。传出台积电可能最快等到2030年才会使用“High-NA EUV”，不过似乎还没定案；近日ASML现任商务长、下一任执行长兼总裁富凯（Christophe Fouquet）来台拜访台积电，双方预计商讨下世代机台相关规划。
据知名科技网站“Tom’s Hardware”报导，英特尔已收到全球首台“High-NA EUV”，并将以此发展18A后的节点（1.8奈米制程）。
或是成本考量
报导说，台积电似乎不急着在短时间内导入“High-NA EUV”，SemiAnalysis分析认为，使用该系统代表要投入更多成本，可能是台积电的主要考量之一。
报导说，英特尔思考的是不同的事，希望透过高数值孔径EUV，领先台积电及三星，以确保战略利益。台积电如果选择晚英特尔4至5年才使用“High-NA EUV”，届时如何保持技术领先，受到市场关注。
ASML下任CEO将来台
台积电预计在本月18日举办法说会，富凯近日将率领高层来台拜访台积电与供应商。
富凯与台积电讨论极紫外光设备的供应与下世代机台等规划，突显双方在先进制程持续紧密合作。
另外，台积电在日本熊本的首座厂房预计在今年投产，如今厂区已完工，据日媒共同社报导，台积电日本子公司JASM于2022年4月开始建设，办公大楼部分区域在去年8月启用，厂房则在去年底完工，已开始将生产设备搬入厂房。
据日本雅虎报导，台积电熊本厂建厂几乎是24小时赶工状态，工程仅花约1年8个月的时间，预计在今年2月24日举行开幕仪式。◇
责任编辑：晓玫
