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【大纪元1月27日讯】台湾国科会精密仪器发展中心今天宣布成功开发出奈米制程微流量校正系统，此一系统的建置可以精确地检校各式真空仪器及微小气体流量计所使用的标准检校仪器，应用范围相当广。
据中央社1月27日报导，国科会精密仪器发展中心鉴于真空技术为高科技产业的基础技术，二十多年前即投入研究发展，由真空元件制造技术着手，陆续发展出热偶式真空计、冷阴极真空计等真空计测仪器，技术移转予业界生产销售，并率先将真空极限推至torr超高真空领域，成为国内真空技术的研究重镇。
在真空检校方面，也建立台湾首座符合国际经贸产品品质验证需求的真空标准检校实验室，持有中华民国实验室认证体系校正领域认可证书，长期提供各界具有公信力之校正服务。
在奈米级制程的蚀刻、离子布植及化学气相沉积程序中，输送微量气体的精准掌控，攸关下一代 (90奈 米以下) 半导体元件品质甚钜，已成为未来制程发展的关键技术，目前台湾气体流量计，检测能量仅在1sccm以上范围，对于未来所需小于0.1 sccm微小流量 (以此流量要将脚踏车内胎打足气需时18天)控制仪器的校正能力尚未建立，精仪中心遂自89年起历时三年开发完成可检测1至10-4 sccm范围内微小流量的精密微流量校正系统，期能精进国内微量气体传输计量的准确度，有效提升台湾半导体元件制程良率。
精仪中心所开发的微流量校正系统，包括双腔式流量产生器及以孔口板区分上下腔的主腔体两个次系统，从设计、制造、组装到测试，皆依据国际标准组织（ ISO）的品质管理及技术能力要求运作，所使用的标准校正件系追溯美国国家标准与技术研究院 (NIST) 及德国国家物理实验室 (PTB)，而量测系统的不确定度评估作业，则遵循国际标准组织所颁布的量测不确定度评估指引 (ISOGUM)，该中心经长时间实验验证，确认已达精密微流量的原级校正等级。 此一系统的建置可以精确地检校各式真空仪器及微小气体流量计所使用的标准检校仪器，应用范围包括漏气率标准件、离子真空计、冷阴极真空计、电容式真空计、热偶式真空计、精密波尔登真空计、转球黏滞真空计、微流量控制器及残气分析器等。
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