【大纪元2月21日讯】〔自由时报记者／综合报导〕国内知名光电大厂茂德科技中科厂，2名工程师昨日进行机台送水测试时，遭到氢氟酸喷溅，日籍工程师北川直树脸部受伤，台籍工程师林家锋则有吸入性呛伤、手部也接触到少量氢氟酸，虽无立即危险，不过，氢氟酸会慢慢破坏人体组织，2人仍留院观察。
劳委会中区劳动检查所表示，茂德违反劳工安全卫生设施规则，已予以警告。茂德科技副总曾邦助则强调，此次工安意外对生产线运作并不会有任何影响，出事原因会再进一步调查。
劳委会劳工检查处处长傅还然表示，2名工程师在装设2部蚀刻机机台时，A机台已经装设完毕、进行测试时，因为A、B机台源头开关标示错误，在打开标示为A的开关（实质开的却是B开关 )，氢氟酸液体正好送入B机台，喷溅而出导致这场意外。
伤者北川直树（24岁 )、林家锋（29岁 )是茂德协力厂商迪恩仕设备公司的工程师，近日到厂房安装清洗晶圆的2台机台，昨日工程师进行其中1台机台送水测试时，不慎遭到少量氢氟酸喷溅。
台中县消防局大雅分局局员陈立伦说，他们抵达现场时，茂德已将伤者用“葡萄糖酸钙”解毒性药膏涂抹伤处，他们在送医过程中，也尽量保持通风，并让患者伤处不要受到感染，一路奔驰到台中荣总不到10分钟。
反应极快 自行冲冷水
目击者表示，2名工程师都穿防护衣，日籍工程师反应极快，当下断定遭受化学药剂喷溅，旋即冲水半小时。台中荣总毒物科主任洪东荣表示，伤者到院前的急救措施值得称许，经救治后，目前2名工程师已暂无大碍，并转至普通病房住院观察。
根据劳委会的统计指出，92年至今，一共发生了7件高科技厂有害气体泄漏、造成多名员工伤亡的事故，其中，大部分都是氢氟酸、硅甲烷、砷化氢等，容易造成中毒、火灾爆炸的高危害物质。
茂德 中科首家DRAM厂
茂德科技公司中部科学工业园区台中基地“第二座12吋晶圆厂─晶圆三厂” ，94年11月15日落成启用，代表该公司跨越90奈米制程量产世代。
该公司预估，12吋晶圆三厂产能规模在今年第三季时，将达每月3万片，可推升的位元成长率高达80%，量产成果可奠定制程技术提升，并带动量产规模经济效益的竞争优势；晶圆三厂今年第四季，制程技术将全线提升至70奈米，明年初达满载月产能4万片。
茂德科技是第一家进驻中科的动态随机存取记忆体（DRAM )厂商，12吋晶圆三厂总投资额1000亿新台币，动工兴建时是全球最大的12吋晶圆厂，占地面积12公顷。（记者谢凤秋 )
新闻辞典-氢氟酸
原来是气体的氟化氢，溶于水后成为1种强酸，就是氢氟酸。英国学界研究显示，火葬时燃烧的棺木，也会产生氢氟酸等有害气体。
彰化师范大学物理研究所博士班研究生吴天全指出，氢氟酸的活性很强，可与水、钙、镁、硅等产生剧烈化学反应，反应过程还会产生高温。最恐怖的是接触到人体肌肤时，不会有明显灼痛感，但会渗透皮肤，甚至与骨骼内的钙质产生反应，日积月累会衍生皮肤与骨骼病变。
目前使用氟化氢或氢氟酸的行业，主要有半导体业以氢氟酸做为清洗剂、玻璃蚀刻业以氢氟酸做为蚀刻剂、钢铁业使用氢氟酸做为表面除锈剂、石化业以氟化氢做为催化剂、清洁服务业以氢氟酸做为污物腐蚀清洗剂、或做为外墙清洗剂。
氢氟酸平均容许浓度为8小时3ppm，吸入时会刺激鼻、咽、眼睛及呼吸道，高浓度蒸气会严重灼伤唇、口、咽及肺，只要在50ppm浓度下暴露数分钟即可能致死；如果是皮肤接触其气体或无水液体，在浓度不高的状况下，几个小时后，就可能出现深度皮肤灼伤。（记者张瑞桢、廖千莹 )
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