【大纪元3月1日报导】（中央社记者韦枢台北一日电）行政院国科会与均豪精密、群录公司等共同补助成功大学制造所研发成功“智慧型预测保养”、“虚拟量测”技术，这两项技术已获得5个专利，由于精准度非常高，目前已经技转给台积电和奇美电子，大幅嘉惠半导体和面板显示器产业。
半导体与面板显示器产业是政府“两兆双星”中重点产业，两大产业投资规模庞大，亦执全球牛耳。向来以制程科技领先的台湾来说，若能在生产过程中降低生产设备异常和产品不良率的停工、产能和资本浪费，台湾的竞争力会更强。
研发团队成大制造工程研究所教授郑芳田表示，智慧型预测保养系统主要是提早通知可能发生错误或机械异常，包含数个通用型嵌入式装置与远端主机，此通用型嵌入式装置可以嵌入于不同种类的设备中，先撷取设备基本的工程资料，再透过嵌入式装置内的应用介面，用以发展应用模组。
他举例，TFT-LCD（薄膜液晶显示器）的玻璃基板在输送过程中，若相邻两个输送模组间的马达转速差异超过容许限度时，会刮伤玻璃基板而不得不报废；若输送设备中侦测玻璃基板位置的感测器故障，也会导致玻璃基板相撞或冲出输送设备而破碎。
这时若有一套预测保养系统和具有动态载入功能的预测保养模组，侦测玻璃基板输送设备的马达转速差异、感测器故障、与载具转换器的定位高度差异等问题，当发现异常时能发出警讯给远端主机，并在玻璃基板损坏前，紧急停机处理，大幅降低损坏率。
至于虚拟量测是指在产品尚未或无法进行实际量测情况下，利用生产机台参数，推估所生产的产品品质，并监控机台效能。
目前半导体厂的做法是每隔一段时间，插入一片监控用的测试晶圆 (每个月消耗新台币一亿元 )，进行周期性品质量测。但周期性监控仍无法即时侦测每片晶圆的品质，以致无法即时发现机台效能漂移等问题，因此仍可能导致产品品质不良，造成极高成本损失，尤其晶圆愈来愈大，损失会更多。
郑芳田指出，预测保养系统已经成功安装在均豪公司的TFT-LCD五代玻璃输送装置及载具转换器上；虚拟量测技术则技转给奇美电子和台积电，取代部分实际量测、实现逐片检测 (Wafer-to- Wafer)模式的先进制程Run-to-Run控制、及减少 (或免除)监控片的消耗量。
