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【大紀元1月27日訊】台灣國科會精密儀器發展中心今天宣佈成功開發出奈米製程微流量校正系統，此一系統的建置可以精確地檢校各式真空儀器及微小氣體流量計所使用的標準檢校儀器，應用範圍相當廣。
據中央社1月27日報導，國科會精密儀器發展中心鑑於真空技術為高科技產業的基礎技術，二十多年前即投入研究發展，由真空元件製造技術著手，陸續發展出熱偶式真空計、冷陰極真空計等真空計測儀器，技術移轉予業界生產銷售，並率先將真空極限推至torr超高真空領域，成為國內真空技術的研究重鎮。
在真空檢校方面，也建立台灣首座符合國際經貿產品品質驗證需求的真空標準檢校實驗室，持有中華民國實驗室認證體系校正領域認可證書，長期提供各界具有公信力之校正服務。
在奈米級製程的蝕刻、離子佈植及化學氣相沉積程序中，輸送微量氣體的精準掌控，攸關下一代 (90奈 米以下) 半導體元件品質甚鉅，已成為未來製程發展的關鍵技術，目前台灣氣體流量計，檢測能量僅在1sccm以上範圍，對於未來所需小於0.1 sccm微小流量 (以此流量要將腳踏車內胎打足氣需時18天)控制儀器的校正能力尚未建立，精儀中心遂自89年起歷時三年開發完成可檢測1至10-4 sccm範圍內微小流量的精密微流量校正系統，期能精進國內微量氣體傳輸計量的準確度，有效提升台灣半導體元件製程良率。
精儀中心所開發的微流量校正系統，包括雙腔式流量產生器及以孔口板區分上下腔的主腔體兩個次系統，從設計、製造、組裝到測試，皆依據國際標準組織（ ISO）的品質管理及技術能力要求運作，所使用的標準校正件係追溯美國國家標準與技術研究院 (NIST) 及德國國家物理實驗室 (PTB)，而量測系統的不確定度評估作業，則遵循國際標準組織所頒佈的量測不確定度評估指引 (ISOGUM)，該中心經長時間實驗驗證，確認已達精密微流量的原級校正等級。 此一系統的建置可以精確地檢校各式真空儀器及微小氣體流量計所使用的標準檢校儀器，應用範圍包括漏氣率標準件、離子真空計、冷陰極真空計、電容式真空計、熱偶式真空計、精密波爾登真空計、轉球黏滯真空計、微流量控制器及殘氣分析器等。
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