【大纪元10月23日报导】（中央社记者杨思瑞台南23日电）台积电公司推动制程废水回收10多年，将回收率提升至9成，现任新厂规划暨工程处长的庄子寿参与从无到有的所有过程，带领团队突破各项瓶颈，可说是重要的幕后推手。
台湾的年平均降雨量虽高，但因地形坡陡流急，水库能留住的水有限，雨水很快就流入海中；加上旱季和雨季的降雨不均，使台湾在全球缺水国家地区中榜上有名。许多电子大厂在制程中需消耗大量纯水，却又是台湾重要产业，新竹科学园区管理局在民国84年起要求厂商发展废水回收系统，盼降低用水量。
台积电约在15年前开始研发制程废水回收作业，庄子寿被委以重任，几乎从零开始摸索，参考国内外各种相关资料、寻找配合厂商，做出自己的废水回收系统。
庄子寿说，晶圆厂对制程用水的品质要求极高，初期的回收水多仅用于冷却水塔、冲马桶和浇灌花木；后来法律又规定回收水不能浇花。若不能让回收水再回到制程，省水的效果便相当有限。
晶圆制程产生的废水中，含有微量的金属离子及酸碱等化学物质，要将这些东西抽离、中和后，让水质回到与自来水相当、甚至更好，才能再经由纯化处理系统，成为纯水进入制程。
庄子寿说，要把微量杂质弄掉，比把很脏的水弄干净要来得复杂，研发过程中碰到许多瓶颈。好不容易把成果做出来了，制程部门却还是担心回收水的品质，需再配合稳定的水质监控系统，并经不断沟通，才让制程部门接受。
经过10多年来累积的经验与技术，台积电新设厂区的制程废水回收率已可达到90%，其余厂区也提升至80%至85%。相较于未做回收前的状况，每年约可节省约1座新竹宝山第二水库的容量。
庄子寿认为，这是台积电近100名工程人员和协力厂商的努力成果，自己不敢居功，也希望将研发的经验及技术，推广给更多企业，相信能为国家节省更多工业用水。
他说，起初投入回收水的领域，并非因为怀抱特殊的热情或理想，就是当成公司交付的任务，但愈做愈觉得有意义，常在心里思量“若不做节水，台湾的水可能会被我们用光”。现在不仅替公司节省开支，还能对环境有贡献，想到就很开心。
