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台积废物利用获进展 估年创4亿效益

台积电积极发展循环经济,已导入氢氟酸废液合成冰晶石系统,并在中科晶圆15B厂启用。(SAM YEH/AFP via Getty Images)
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【大纪元2021年11月30日讯】(大纪元记者张原彰台湾台北报导)台积电积极发展循环经济,已导入氢氟酸废液合成冰晶石系统,并在中科晶圆15B厂启用,并预计在2023年导入到其他先进制程厂区,估计每年可创造四亿台币的效益。另外,台积电在同日透露技术突破进度,指出异质整合技术已进入系统微缩阶段。

氢氟酸废液是由晶圆加工与清洗制程产生的废料,台积电进行循环利用,据媒体报导,自2018年起,台积电已与厂商合作,积极找出氢氟酸废液循环利用的解方,如今收到成果。

台积电9月在晶圆15B厂正式启用首座氢氟酸废液合成冰晶石系统,台积电说,至11月,已减少氢氟酸废液委外处理量达500吨,产出冰晶石150吨。

他们说,在2023年扩大导入至先进制程晶圆厂区,目标每年减少委外处理量4.6万吨,产出冰晶石1.2万吨,创造逾4亿元效益。

台积电说,冰晶石主要用于铝工业做为助熔剂,可于电解炼铝过程中节省逾25%能耗。以氢氟酸废液做为冰晶石制程原料,与厂商合作研发出可生成冰晶石的反应药剂,在地研发也提升国内循环经济产业的再生技术。

另外,SEMI国际半导体产业协会在30日中午在脸书举行异质整合未来趋势座谈直播。台积电卓越院士兼研发副总经理余振华在会上表示,台积电发展异质整合到商业化阶段开花结果,率先从系统整合进入系统微缩(system scaling)阶段。

余振华说,台积电着重晶片之间连结密度加强、封装尺寸大小两大方向,而异质整合是新的领域,要面对成本控制、精准制程控制等挑战,如:机台的生产率、材料的成本控制等,希望跟上下游供应链合作解决。

台积电持续有扩厂与研发计划,他们在同日公告,再发行公司债。公告指出,2021年度第7期无担保普通公司债发行总额为新台币167亿元整,依发行期限之不同分为甲类、乙类及丙类3种。募得价款之用途及运用计划是新建扩建厂房设备。

责任编辑:吕美琪

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