【大纪元2021年11月30日讯】（大纪元记者张原彰台湾台北报导）台积电积极发展循环经济，已导入氢氟酸废液合成冰晶石系统，并在中科晶圆15B厂启用，并预计在2023年导入到其他先进制程厂区，估计每年可创造四亿台币的效益。另外，台积电在同日透露技术突破进度，指出异质整合技术已进入系统微缩阶段。
氢氟酸废液是由晶圆加工与清洗制程产生的废料，台积电进行循环利用，据媒体报导，自2018年起，台积电已与厂商合作，积极找出氢氟酸废液循环利用的解方，如今收到成果。
台积电9月在晶圆15B厂正式启用首座氢氟酸废液合成冰晶石系统，台积电说，至11月，已减少氢氟酸废液委外处理量达500吨，产出冰晶石150吨。
他们说，在2023年扩大导入至先进制程晶圆厂区，目标每年减少委外处理量4.6万吨，产出冰晶石1.2万吨，创造逾4亿元效益。
台积电说，冰晶石主要用于铝工业做为助熔剂，可于电解炼铝过程中节省逾25%能耗。以氢氟酸废液做为冰晶石制程原料，与厂商合作研发出可生成冰晶石的反应药剂，在地研发也提升国内循环经济产业的再生技术。
另外，SEMI国际半导体产业协会在30日中午在脸书举行异质整合未来趋势座谈直播。台积电卓越院士兼研发副总经理余振华在会上表示，台积电发展异质整合到商业化阶段开花结果，率先从系统整合进入系统微缩（system scaling）阶段。
余振华说，台积电着重晶片之间连结密度加强、封装尺寸大小两大方向，而异质整合是新的领域，要面对成本控制、精准制程控制等挑战，如：机台的生产率、材料的成本控制等，希望跟上下游供应链合作解决。
台积电持续有扩厂与研发计划，他们在同日公告，再发行公司债。公告指出，2021年度第7期无担保普通公司债发行总额为新台币167亿元整，依发行期限之不同分为甲类、乙类及丙类3种。募得价款之用途及运用计划是新建扩建厂房设备。
责任编辑：吕美琪
