台积电：晶圆七厂气体外泄不影响正常营运

【大纪元1月26日报导】(中央社记者何易霖新竹二十六日电)台湾积体电路制造公司今天下午位于新竹科学园区的晶圆七厂发生砷化氢气体外泄工安意外，员工及外包商共二十一人已送医救治，台积电表示，意外发生后已采取紧急应变，不影响正常营运。

意外事件发生在下午二时五分左右，位于竹科研新二路上的台积电晶圆七厂警报器响起，三名外包商发生呕吐情形，台积电紧急将附近员工及外包商共二十一人送往新竹马偕医院急救，截至记者发稿为止，二十一人仍在医院观察中。

台积电表示，意外发生后，公司紧急疏散人员，厂 区随即于下午三时二十分左右恢复正常运作。

据了解，砷化氢是半导体制程设备必须用到的气体，主要用于离子植入机，台积电研判此次意外是由机台外泄引起。

台积电晶圆七厂是一座八吋晶圆厂，依台积电九十三年第三季法说会时公布数据，该厂去年前三季实际产能共十二点六万片，全年产能预估达十六点五万片。