不放过1滴水 台积节水效率冠同业

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【大纪元4月9日报导】(中央社9日电)晶圆代工厂台积电节水做法彻底,连量测水质的用水也回收再利用,正是“连1滴水都不放过”的精神,让台积电节水效率居全球业界之冠。

台湾正面临严重干旱危机,石门水库供水区启动三阶限水,采供水5天停水2天措施;台积电中科晶圆15厂首度开放媒体参观节水与水处理设备,推广及分享节水方法。

台积电12吋晶圆厂厂务处副处长陈锵泽表示,台积电用水策略及管理目标是致力回收水技术开发及应用,以达成最大回收再利用的成效,创造每单位用水最大产值,成为半导体业高节水效率的生产工厂。

台积电用水策略及管理方法及重点有建立有效用水管理指标,内部定期跨厂区管控,并强化有效分流源头管理对策,同时积极推展回收水再利用的涵盖率。

陈锵泽指出,台积电针对不同机台特性,依废水等级回收分流处理再利用,中科晶圆15厂即设置有多达25类排水管路。

陈锵泽说,内部连量测水质的用水也回收再利用,虽然回收水量不多,不过,充分展现台积电在节水上“连1滴水也不放过”的精神。

台积电1滴水用了3.5次,全公司平均制程回收率达87.5%,陈锵泽表示,今年目标将提升至1滴水用4次;台积电1天产生24万吨回收水,1年产生多达8760万吨回收水。

台积电生产每平方公分晶圆用水量约5.66公升,节水效率为美国厂商的3倍,为日本厂商的2倍,是韩国厂商的1.5倍左右,晶圆单位面积用水量也低于台湾业界的5.74公升水准。

台积电12吋厂厂务资深处长庄子寿透露,台积电1年环保节水设备上支出约新台币8亿元。台积电一方面积极节水,另台积电也与水车业者签约,以备不时之需。

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