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【大纪元9月21日报导】(中央社记者张建中新竹21日电)台湾康法今天发表再生滤网产品，台湾康法总经理郭沫励表示，再生滤网除有助客户达到生产目标，同时可节省滤网成本2至4成，也可减少垃圾产生，保护环境，创造三赢局面。
台湾康法技术事业发展处处长黄铭文指出，气态分子污染物 (AMC)防制对半导体厂先进制程生产的保护相当重要；国内某家晶圆代工大厂即曾因AMC导致5000片晶圆报废。
黄铭文说，这家晶圆代工厂事后积极强化AMC防制，目前已很少发生因AMC导致晶圆报废的情况。
黄铭文表示，目前晶圆厂在AMC防制的作法，是在每部机台设备安装3至4片滤网，也在天花板及进气口等区域安装滤网；平均1座月产能 3至4万片规模的晶圆厂每年约使用 1万片滤网。
由于目前滤网产品仅可使用一次，替换下来的滤网多焚毁处理，随着12吋晶圆厂数量愈来愈多，废弃滤网也增多，对环境影响增大。黄铭文指出，台湾康法新推出再生滤网新产品，将可减少滤网废弃数量近 8成。
郭沫励说，再生滤网除有利环境保护外，也可让客户达到生产目标，并节省滤网成本2至4成；目前再生滤网已与3至4家客户合作测试1年半至2年，成效也广获客户肯定。
郭沫励表示，台湾康法是瑞典 Camfil Farr集团在台分公司，集团全球员工总计3250人，主要业务有舒适空气、洁净制程、电力系统及环境安全与防护等，年营收达45亿克朗，约新台币186亿元。
台湾康法2007年成立，在新竹、台南及台北设有办事处，员工人数有14人，由于再生滤网产品要能确保达到与新的滤网一样，品管是一大关键。黄铭文表示，台湾康法将增设10人团队负责。
