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台康法發表再生濾網 期創三贏

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【大紀元9月21日報導】(中央社記者張建中新竹21日電)台灣康法今天發表再生濾網產品,台灣康法總經理郭沫勵表示,再生濾網除有助客戶達到生產目標,同時可節省濾網成本2至4成,也可減少垃圾產生,保護環境,創造三贏局面。

台灣康法技術事業發展處處長黃銘文指出,氣態分子污染物 (AMC)防制對半導體廠先進製程生產的保護相當重要;國內某家晶圓代工大廠即曾因AMC導致5000片晶圓報廢。

黃銘文說,這家晶圓代工廠事後積極強化AMC防制,目前已很少發生因AMC導致晶圓報廢的情況。

黃銘文表示,目前晶圓廠在AMC防制的作法,是在每部機台設備安裝3至4片濾網,也在天花板及進氣口等區域安裝濾網;平均1座月產能 3至4萬片規模的晶圓廠每年約使用 1萬片濾網。

由於目前濾網產品僅可使用一次,替換下來的濾網多焚毀處理,隨著12吋晶圓廠數量愈來愈多,廢棄濾網也增多,對環境影響增大。黃銘文指出,台灣康法新推出再生濾網新產品,將可減少濾網廢棄數量近 8成。

郭沫勵說,再生濾網除有利環境保護外,也可讓客戶達到生產目標,並節省濾網成本2至4成;目前再生濾網已與3至4家客戶合作測試1年半至2年,成效也廣獲客戶肯定。

郭沫勵表示,台灣康法是瑞典 Camfil Farr集團在台分公司,集團全球員工總計3250人,主要業務有舒適空氣、潔淨製程、電力系統及環境安全與防護等,年營收達45億克朗,約新台幣186億元。

台灣康法2007年成立,在新竹、台南及台北設有辦事處,員工人數有14人,由於再生濾網產品要能確保達到與新的濾網一樣,品管是一大關鍵。黃銘文表示,台灣康法將增設10人團隊負責。

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