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【大紀元9月21日報導】(中央社記者張建中新竹21日電)台灣康法今天發表再生濾網產品，台灣康法總經理郭沫勵表示，再生濾網除有助客戶達到生產目標，同時可節省濾網成本2至4成，也可減少垃圾產生，保護環境，創造三贏局面。
台灣康法技術事業發展處處長黃銘文指出，氣態分子污染物 (AMC)防制對半導體廠先進製程生產的保護相當重要；國內某家晶圓代工大廠即曾因AMC導致5000片晶圓報廢。
黃銘文說，這家晶圓代工廠事後積極強化AMC防制，目前已很少發生因AMC導致晶圓報廢的情況。
黃銘文表示，目前晶圓廠在AMC防制的作法，是在每部機台設備安裝3至4片濾網，也在天花板及進氣口等區域安裝濾網；平均1座月產能 3至4萬片規模的晶圓廠每年約使用 1萬片濾網。
由於目前濾網產品僅可使用一次，替換下來的濾網多焚毀處理，隨著12吋晶圓廠數量愈來愈多，廢棄濾網也增多，對環境影響增大。黃銘文指出，台灣康法新推出再生濾網新產品，將可減少濾網廢棄數量近 8成。
郭沫勵說，再生濾網除有利環境保護外，也可讓客戶達到生產目標，並節省濾網成本2至4成；目前再生濾網已與3至4家客戶合作測試1年半至2年，成效也廣獲客戶肯定。
郭沫勵表示，台灣康法是瑞典 Camfil Farr集團在台分公司，集團全球員工總計3250人，主要業務有舒適空氣、潔淨製程、電力系統及環境安全與防護等，年營收達45億克朗，約新台幣186億元。
台灣康法2007年成立，在新竹、台南及台北設有辦事處，員工人數有14人，由於再生濾網產品要能確保達到與新的濾網一樣，品管是一大關鍵。黃銘文表示，台灣康法將增設10人團隊負責。
