第十六窟
第十六至二十窟，是云冈石窟最早开业凿的五个洞窟，通称“昙曜五窟”。十六窟为平面呈椭圆形。正中主像释迦像，高13.5米，立于莲花座上，周壁雕有千佛和佛龛。
第十七窟
主像是三世佛，正中为交弥勒坐像，高15.6米。东、西两壁各雕龛，东为坐像，西为立像。明窗东侧的北魏太和十三年（公元489年）佛龛，是以后补刻的。
第十八窟
主像是三世佛，正中的身披千佛袈裟的释迦佛，高15.5米。东壁上部的弟子群，雕刻技法十分熟练，堪称杰作。
第十九窟
主像是三世像，窟中的释迦坐像，高16.8米，是云冈石窟中的第二大象。窟外东西凿出两个耳洞，各雕一身8米的坐像。
第二十窟
窟前带大约在辽代以前已崩塌，造像完全露天。立像是三大佛，正中的释迦坐像，高13.7米，这个像面部丰满，两肩宽厚，造型雄伟，气魄浑厚，为云冈石窟雕刻艺术的代表作。
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